Активный контроль вибраций

Активный контроль вибраций — это приложение силы, которая равна и противоположно направлена силе внешних вибраций. Таким образом точность производственного процесса можно повысить используя платформу, на которой нет вибрации. Множество процессов не могут быть выполнены, если аппарат подвержен вибрации. Например производство полупроводниковых пластин требует, чтобы этап фотолитографии выполнялся в обстановке, исключающей любые вибрации, иначе субмикронные детали расплывутся. Активный контроль вибраций сейчас уже доступен для гашения вибраций в вертолетах, предоставляя больший комфорт при меньшем весе. В прошлом использовались пассивные технологии: демпферы, амортизаторы и изоляция фундамента.

Типичная система активного контроля вибраций использует следующие компоненты:

• массивная платформа, подвешенная на нескольких активных двигателях (катушки динамиков, гидравлика, пневматика, пьезоэлектрика и др.)
• Три акселерометра, которые измеряют ускорение по трём степеням свободы
• Электронный усилитель, который усиливает и инвертирует сигнал от акселерометров. ПИД-регулятор может дать лучшую производительность, чем простой инвертирующий усилитель.
• Для очень больших систем требуются пневматические или гидравлические компоненты, которые предоставляют большую мощность.

Если вибрации — периодические, то система контроля может адаптироваться к вибрациям, предоставляя лучшее гашение, чем если бы реакция зависела только от текущих вибраций, без опоры на прошлые.