title-icon
Яндекс.Метрика
» » Приборы для измерения вакуума

Приборы для измерения вакуума

При большом разрежении газа (воздуха) обычно измеряют остаточное давление газа, который существует в вакуумной установке.
Обычно давление в пределах от 133,3 Па до 101,2 кПа измеряют барометрической трубкой или U-образным манометром, заполненным ртутью или другой жидкостью. При понижении давления газа до десятых и менее миллиметров ртутного столба точность манометров с прямым отсчетом давления газов по высоте столба жидкости становится недостаточной. Тогда давление газа при высоком вакууме измеряют косвенно. Для определения давления газа при сильном разрежении используются тепловые и электрические свойства газов, которые сильно изменяются при разрежении. Способность какого-либо газа проводить тепло зависит от его плотности. Чем больше давление газа, тем выше его плотность, тем большее количество молекул участвует в переносе тепла. На изменении теплопроводности газов с изменением их плотности основано действие теплоэлектрического вакуумметра — манометра (рис. 90). В манометре в разреженном пространстве помещена проволока, которую нагревают током постоянной величины. С увеличением разрежения газа количество тепла, отдаваемого проволокой уменьшается, что приводит к повышению ее температуры. Температура проволоки непрерывно измеряется термопарой, спай которой припаян к проволоке. В зависимости от температуры спая термопары в ней возникает ток большей или меньшей силы, который измеряется чувствительным прибором. По величине э. д. с. термопары судят о давлении в лампе, соединенной с вакуумным объемом.
Термопарные датчики выпускают в стеклянном баллоне с платиновой нитью накала или в металлическом корпусе с никелевой нитью накала, термопара—хромель—копелевая.

Теплоэлектрические манометры позволяют измерять давление в пределах 13,33—133300 мПа. Для измерения вакуума в пределах 133,3—1333000 мПа используют ионизационные манометры (датчики).
Наибольшее распространение получила электронная ионизационная манометрическая лампа ЛМ-2 (рис. 91), В стеклянной запаянной трубке лампы впаяны два металлических электрода, между которыми установлена металлическая сетка. При подключении электродов к двум противоположным полюсам источника тока в трубке возникает ток. Электроны, двигаясь в разреженном газе от одного электрода к другому, ионизируют попадающиеся на их пути молекулы газа. Степень ионизации газа зависит от степени разрежения. Чем больше давление газа, тем больше молекул ионизируется и тем больше сила тока между электродами манометра, которая измеряется приборами Измеряя силу ионного тока, можно судить о давлении в лампе и в системе, к которой присоединена лампа.

title-icon Подобные новости